数 量:
柔性PET叉指电极IDE医疗生物气体湿度传感器芯片电容阵列
1.基材:聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET),厚度75um,外形尺寸3mm*3mm。2.线宽90um,线距110um,指长1.8mm;叉指对数:5对(10指)。3.金属层结构 Cu/Ni/Au,厚度分别为12um,1um,1um。
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