30微米单晶硅叉指电极光电检测气体湿度生物传感器芯片MEMS高精度
| 【编号】BK2021012610 | 【CAS号】cas | ||
| 【货号】BK2021012610 | 【规格】 | ||
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30微米硅基叉指电极光电检测气体湿度生物传感器MEMS工艺
1.外形尺寸:4mm*6mm*0.52mm.
2.线宽:30um，线距:30um，指长:1.5mm，叉指对数:20(40指).3．电极衬底为单晶硅，硅片表面生长 SiO2，厚度为300nm;4．金属层结构: Cr/Au，厚度分别为10nm，100nm;
5．电极使用温度范围:-150℃～500℃;
6.主要用于各类化学,物理及医疗传感器，性能可靠，质量稳定。7.量大价格从优。
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1.外形尺寸:4mm*6mm*0.52mm.
2.线宽:30um，线距:30um，指长:1.5mm，叉指对数:20(40指).3．电极衬底为单晶硅，硅片表面生长 SiO2，厚度为300nm;4．金属层结构: Cr/Au，厚度分别为10nm，100nm;
5．电极使用温度范围:-150℃～500℃;
6.主要用于各类化学,物理及医疗传感器，性能可靠，质量稳定。7.量大价格从优。
我们提供各种叉指电极，包括不同形状，不同尺寸，不同线宽线距，不同基材(氧化铝陶瓷，PIV/PET 柔性材料，单晶硅)，不同工艺（厚膜工艺，PCB工艺，MEMS工艺)）。
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