10μm硅基叉指电极高精度高稳定性MEMS气体生物传感器光电检测
| 【编号】BK2021012607 | 【CAS号】cas | ||
| 【货号】BK2021012607 | 【规格】 | ||
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1．外形尺寸:4mm*6.5mm*0.52mm.
2．线宽:10 u m，线距:10 u m，指长: 1.6mm，叉指对数:50(100指).
3.电极衬底为单晶硅，硅片表面生长二氧化硅，厚度为300nm;
4．金属层结构:Ti/Au，厚度分别为30nm，100nm;
5.电极使用温度范围:-150℃~500℃;
6.主要用于各类化学,物理及医疗传感器，性能可靠，质量稳定。
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