3μm硅基叉指电极电容阵列MEMS气体生物传感器光电检测高稳定性
| 【编号】BK2021012608 | 【CAS号】cas | ||
| 【货号】BK2021012608 | 【规格】 | ||
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1.外形尺寸:6.5mm*4mm*0.52mm.
2．线宽:5 u m，线距:3 u m，指长:1.6mm，叉指对数:75(150指).
3．电极衬底为单晶硅，硅片表面生长二氧化硅，厚度为300nm;
4．金属层结构:Ti/Au，厚度分别为30nm，100nm;
5.电极使用温度范围: -150℃～500℃;
6．主要用于各类化学,物理及医疗传感器，性能可靠，质量稳定。7．量大价格从优。
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