20μm硅基叉指电极电容阵列MEMS气体生物传感器光电检测高稳定性
| 【编号】BK2021012606 | 【CAS号】cas | ||
| 【货号】BK2021012606 | 【规格】 | ||
|
|||
| 价格： 登录查看 | |||
 |
 |
1.外形尺寸:4mmr6.5mm*0.52mm.
2．线宽:20 um，线距:20 um，指长: 1.6mm，叉指对数:30(60 指).
3.电极衬底为单晶硅，硅片表面生长二氧化硅，厚度为300nm;
4．金属层结构:Ti/Au，厚度分别为30nm，100nm;
5.电极使用温度范围:-150℃～500℃;
6．主要用于各类化学,物理及医疗传感器，性能可靠，质量稳定。
留言咨询
|
| 温馨提示：苏州北科纳米供应产品仅用于科研，不能用于人体,不同批次产品规格性能有差异。网站部分文献案例图片源自互联网，图片仅供参考，请以实物为主，如有侵权请联系我们立即删除。
提示说明：纳米材料工艺和制备可能会有改变 所有纳米材料均支持按需定制 下单前联系客服确认产品详细信息。 |
暂无视频
上一款： 没有了...
下一款： 全自动电化学生物传感分析仪
