10μm硅基二氧化硅叉指电极高精度MEMS气体生物传感器光电检测
| 【编号】BK2021012605 | 【CAS号】cas | ||
| 【货号】BK2021012605 | 【规格】 | ||
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1．外形尺寸:4mm*6mm*0.52mm.
2.线宽: 10um，线距:10um，指长: 1.5mm，叉指对数:60(120指).
3．电极衬底为单晶硅，硅片表面生长 siO2，厚度为300nm;
4.金属层结构:Cr/Au，厚度分别为10nm，100nm;
5．电极使用温度范围:-150℃~500℃;
6．主要用于各类化学,物理及医疗传感器，性能可靠，质量稳定。
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