3 μm硅基叉指电极电容阵列气体湿度生物传感器芯片MEMS高精度
| 【编号】BK2021012604 | 【CAS号】cas | ||
| 【货号】BK2021012604 | 【规格】 | ||
|
|||
| 价格： 登录查看 | |||
 |
 |
1.电极衬底为单晶硅，硅片表面生长二氧化硅，厚度为300nm;外形尺寸: 4mm*6mm*0.52mm.
2．线距:3 u m，线宽:5u m，指长:1.5mm，叉指对数:120(240指).
3．金属层结构:Cr/Au，厚度分别为30nm，100nm;
4.电极使用温度范围:-150℃～500℃;
5.主要用于各类化学，物理及医疗传感器，性能可靠，质量稳定。6.量大价格从优。
我们提供各种叉指电极。包括不同形状，不同尺寸，不同线宽线距，不同基材（氧化铝陶瓷，PI/PET柔性材料，单晶硅），不同工艺（厚膜工艺，DPC工艺，MEMS 工艺）。
留言咨询
|
| 温馨提示：苏州北科纳米供应产品仅用于科研，不能用于人体,不同批次产品规格性能有差异。网站部分文献案例图片源自互联网，图片仅供参考，请以实物为主，如有侵权请联系我们立即删除。
提示说明：纳米材料工艺和制备可能会有改变 所有纳米材料均支持按需定制 下单前联系客服确认产品详细信息。 |
暂无视频
上一款： 没有了...
下一款： 全自动电化学生物传感分析仪
