4微米叉指电极单晶硅光电检测气体湿度生物传感器芯片MEMS工艺IDE
| 【编号】BK2021012601 | 【CAS号】cas | ||
| 【货号】BK2021012601 | 【规格】 | ||
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1.外形尺寸:4mm*6mm*0.52mm.
2．线宽:6 u m，线距:4 u m，指长:1.5mm，叉指对数:120(240指).3.电极衬底为单晶硅，硅片表面生长Si02，厚度为300nm;
4．金属层结构:Cr/Au，厚度分别为10nm，100nm;
5.电极使用温度范围:-150℃～500℃;
6．主要用于各类化学,物理及医疗传感器，性能可靠，质量稳定。7．量大价格从优。
我们提供各种叉指电极，包括不同形状，不同尺寸，不同线宽线距，不同基材（氧化铝陶瓷，PI/PET柔性材料，单晶硅)，不同工艺（厚膜工艺，PCB工艺，MEMS工艺)。
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2．线宽:6 u m，线距:4 u m，指长:1.5mm，叉指对数:120(240指).3.电极衬底为单晶硅，硅片表面生长Si02，厚度为300nm;
4．金属层结构:Cr/Au，厚度分别为10nm，100nm;
5.电极使用温度范围:-150℃～500℃;
6．主要用于各类化学,物理及医疗传感器，性能可靠，质量稳定。7．量大价格从优。
我们提供各种叉指电极，包括不同形状，不同尺寸，不同线宽线距，不同基材（氧化铝陶瓷，PI/PET柔性材料，单晶硅)，不同工艺（厚膜工艺，PCB工艺，MEMS工艺)。
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