130μm大尺寸陶瓷叉指电极电容阵列生物气体湿度传感器芯片10X20
| 【编号】BK2021012507 | 【CAS号】cas | ||
| 【货号】BK2021012507 | 【规格】 | ||
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1、基材:氧化铝陶瓷;外形尺寸:20mm*10mm。2、指宽:7oum，指间距:130um，指长:6.3mm。叉指对数: 20对（40指）。
3、金属层结构: Ti/Cu/Ni/Au，厚度分别为:0.1um、5um、3um、1um。
4、适用温度:从-150摄氏度到+350摄氏度。
5、大尺寸，大焊盘，更容易实验操作和观察。
我们提供各种叉指电极，包括不同形状，不同尺寸，不同线宽线距，不同基材（氧化铝陶瓷，PI/PET柔性材料，单晶硅)，不同工艺（厚膜工艺，DPC工艺，MEMS工艺)。
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3、金属层结构: Ti/Cu/Ni/Au，厚度分别为:0.1um、5um、3um、1um。
4、适用温度:从-150摄氏度到+350摄氏度。
5、大尺寸，大焊盘，更容易实验操作和观察。
我们提供各种叉指电极，包括不同形状，不同尺寸，不同线宽线距，不同基材（氧化铝陶瓷，PI/PET柔性材料，单晶硅)，不同工艺（厚膜工艺，DPC工艺，MEMS工艺)。
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