5 μm硅基叉指电极电容阵列气体湿度生物传感器芯片MEMS高精度
| 【编号】BK2021012611 | 【CAS号】cas | ||
| 【货号】BK2021012611 | 【规格】 | ||
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5微米硅基二氧化硅叉指金电极光电检测传感器芯片MEMS高精度
1.电极衬底为单晶硅，硅片表面生长二氧化硅，厚度为300nm;外形尺寸:
4mm*6mm*0.52mm.
2．线宽:5u m，线距:5um，指长: 1.5mm，叉指对数: 120(240指).
3．金属层结构:Cr/Au，厚度分别为10nm，100nm;
4.电极使用温度范围:-150℃～500℃ ;
5.主要用于各类化学，物理及医疗传感器，性能可靠，质量稳定。
6.量大价格从优。
1.电极衬底为单晶硅，硅片表面生长二氧化硅，厚度为300nm;外形尺寸:
4mm*6mm*0.52mm.
2．线宽:5u m，线距:5um，指长: 1.5mm，叉指对数: 120(240指).
3．金属层结构:Cr/Au，厚度分别为10nm，100nm;
4.电极使用温度范围:-150℃～500℃ ;
5.主要用于各类化学，物理及医疗传感器，性能可靠，质量稳定。
6.量大价格从优。
我们提供各种叉指电极。包括不同形状，不同尺寸，不同线宽线距，不同基材（氧化铝陶瓷，PI/PET柔性材料，单晶硅)，不同工艺(厚膜工艺，DPC工艺，MEMS工艺）。
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